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批次形成装置、基板处理系统、批次形成方法及存储介质

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一种批次形成装置，能够通过组合从以层叠状态分别容纳多片基板的多个载体中取出的多片基板来形成基板的批次。批次形成装置包括：从各个载体中取出并搬送容纳在各载体中的多片基板的基板搬送机构；对于由此基板搬送机构搬送的多片基板，通过使基板一片片地相对于其它基板移动，来改变这些多片基板的相互的位置关系的基板相互位置关系变更机构；由用此基板相互位置关系变更机构改变相互的位置关系且由基板搬送机构进一步搬送的多片基板来形成批次的批次形成机构。基板处理系统包括：这种批次形成装置；和对由该批次形成装置形成的基板的批次进行处理的基板处理装置。

著录项

公开/公告号CN100543958C

专利类型发明授权
公开/公告日2009-09-23

原文格式PDF
申请/专利权人东京毅力科创株式会社;
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申请/专利号CN200610164634.6
发明设计人上川裕二;江头浩司;
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申请日2006-10-27
分类号
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人温大鹏
地址日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:03:09

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2009-09-23

授权

授权
2007-08-15

实质审查的生效

实质审查的生效
2007-06-20

公开

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