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在电荷擦除光学曝光工具中去除吸波长的气体的方法

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一种用于通过光学手段减少集成电路中的电荷累积的过程包括将所述集成电路或者其中部分暴露在宽带辐射源下。该过程有效地减少了在制造集成电路中产生的电荷累积。

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公开/公告号CN100565807C

专利类型发明授权
公开/公告日2009-12-02

原文格式PDF
申请/专利权人艾克塞利斯技术公司;
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申请/专利号CN200710128771.9
发明设计人 A·亚诺斯;I·贝里;A·辛诺特;K·斯图尔特;
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申请日2002-12-02
分类号
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人王岳
地址美国马萨诸塞州
入库时间 2022-08-23 09:03:26

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2016-01-20

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/268 授权公告日:20091202 终止日期:20141202 申请日:20021202

专利权的终止
2009-12-02

授权

授权
2008-05-14

实质审查的生效

实质审查的生效
2008-03-19

公开

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外文文献

1. 在电荷擦除光学曝光工具中去除吸波长的气体的方法 [P] . 中国专利： CN100565807C . 2009.12.02
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3. Photographic sensor plate, process for making a dual energy radiographic sensor plate without film, for erasing previous images before the next exposure and exposure of the photographic image sensor without film, for erasing, exposing and reading a sensor image photographic image without film, for scanning a plurality of pixels, for acquiring an image stored in an image storage sensor, and for acquiring signals from a segmented plate, and scanning systems for parallel operation for reading of a sensor that temporarily stores an image, for x-ray of mammography without film, for x-ray radiology without film, and electrical for signal processing of a segmented plate without appreciable degradation in the segmentation interfaces [P] . BR9810308A . 2000-09-19

机译：摄影传感器板，一种制造没有胶片的双能射线照相传感器板的方法，用于在下一次曝光之前擦除先前的图像，以及对没有胶片的照相图像传感器进行曝光，以擦除，曝光和读取没有胶片的传感器图像摄影图像，以进行扫描多个像素，用于获取存储在图像存储传感器中的图像，并用于获取来自分割板的信号，以及用于并行操作的扫描系统，用于读取临时存储图像的传感器，用于X射线X线摄影而没有胶片，用于不带胶片的X射线放射学，以及用于分段板信号处理的电气装置，分段界面没有明显的退化
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5. WRITING METHOD IN CHARGE TRAPPING MEMORY DEVICE, ERASING METHOD, AND CHARGE TRAPPING MEMORY DEVICE [P] . 日本专利： JP2011023097A . 2011-02-03

机译：电荷捕捉存储器中的写入方法，擦除方法和电荷捕捉存储器中的写入