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使用振荡装置的电势测量装置,成像设备以及电势测量方法

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摘要

本发明提供了一种有利于减小尺寸以及获得高灵敏度和高可靠性的电势测量装置。该电势测量装置包括：振荡装置(104)，该振荡装置包括扭转弹簧(103、102)和振荡体，该振荡体由扭转弹簧轴向支承；以及信号检测单元(111、112)，该信号检测单元位于振荡体的表面上。通过由振荡装置改变在检测电极和电势测量物体表面之间的距离而改变在检测电极和电势测量物体表面之间的电容，从而检测在检测电极上出现的输出信号。

著录项

公开/公告号CN100562754C

专利类型发明授权
公开/公告日2009-11-25

原文格式PDF
申请/专利权人佳能株式会社;
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申请/专利号CN200480008573.3
发明设计人市村好克;岛田康弘;沟口安志;财津义贵;
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申请日2004-03-25
分类号G01R29/24(20060101);
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人范莉
地址日本东京
入库时间 2022-08-23 09:03:47

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2016-05-11

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01R 29/24 授权公告日:20091125 终止日期:20150325 申请日:20040325

专利权的终止
2009-11-25

授权

授权
2006-06-28

实质审查的生效

实质审查的生效
2006-05-03

公开

公开

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