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微区稳态/瞬态光电检测与扫描成像的近场光学显微镜系统

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本发明涉及微区稳态/瞬态光电检测与扫描成像的近场光学显微镜系统。采用近场光学与原子力形貌同时成像的SNOM，并以表面蒸镀金得到的导电性SNOM探针或者在导电性SNOM探针上再镀绝缘层分别作为光电流或者光电压信号检测以及近场扫描的探针。稳态光电检测以斩波器调制的连续激光作为SNOM的光源，以锁相放大器检测光电信号；瞬态光电检测以纳秒脉冲激光器作为SNOM的光源，采用快速门积分与Boxcar(矩形波串)平均器检测瞬态光电信号。整合SNOM的控制程序以及锁相放大器和快速门积分与Boxcar平均器的控制与数据采集程序，实现了近场下的稳态/瞬态光电响应、表面原子力形貌与近场光学/光谱同时成像。

著录项

公开/公告号CN101173885B

专利类型发明专利
公开/公告日2010-05-12

原文格式PDF
申请/专利权人中国科学院化学研究所;
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申请/专利号CN200610114132.2
发明设计人徐金杰;江雷;
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申请日2006-10-30
分类号G01N13/14(20060101);G01M19/00(20060101);
代理机构31002 上海智信专利代理有限公司;
代理人李柏
地址 100080 北京市海淀区中关村北一街2号
入库时间 2022-08-23 09:04:22

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2013-12-18

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N 13/14 授权公告日:20100512 终止日期:20121030 申请日:20061030

专利权的终止
2010-05-12

授权

授权
2008-07-02

实质审查的生效

实质审查的生效
2008-05-07

公开

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