公开/公告号CN101063625B
专利类型发明专利
公开/公告日2010-08-11
原文格式PDF
申请/专利权人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;
申请/专利号CN200610026322.9
申请日2006-04-30
分类号
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人徐谦
地址 201203 上海市浦东新区张江路18号
入库时间 2022-08-23 09:04:57
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-17
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01D11/00 授权公告日:20100811 终止日期:20190430 申请日:20060430
专利权的终止
2010-08-11
授权
授权
2010-08-11
授权
授权
2007-12-26
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-12-26
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-10-31
公开
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2007-10-31
公开
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