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作为分析具有成角度形貌的衬底的AFM探针的Y-形碳纳米管

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摘要

一种Y-形碳纳米管原子力显微镜探针针头和方法，包括杆部；从该杆部的同一端延伸的一对成角度的臂，其中该杆部和一对成角度的臂包括化学修饰的碳纳米管，并且其中该化学修饰的碳纳米管是利用胺、羧基、氟和金属成分的任一个修饰的。优选地，每对成角度的臂包括至少200nm的长度和10到200nm之间的直径。此外，化学修饰的碳纳米管优选地适应于待探测衬底材料之间的区别。另外，化学修饰的碳纳米管优选地适合于允许氟气体流经化学修饰的碳纳米管到待特征化的衬底上。此外，化学修饰的碳纳米管优选地适合于与待特征化的衬底表面进行化学反应。

著录项

公开/公告号CN101313206B

专利类型发明专利
公开/公告日2011-03-16

原文格式PDF
申请/专利权人国际商业机器公司;
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申请/专利号CN200680043688.5
发明设计人 C·A·博伊;古川俊治;M·C·哈基;S·J·霍姆斯;D·V·霍拉克;C·W·科布尔格三世;
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申请日2006-11-23
分类号G01N13/16(20060101);G12B21/08(20060101);G12B21/02(20060101);
代理机构11256 北京市金杜律师事务所;
代理人朱海波
地址美国纽约
入库时间 2022-08-23 09:06:17

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2017-12-05

专利权的转移 IPC(主分类):G01N 13/16 登记生效日:20171115 变更前: 变更后: 申请日:20061123

专利申请权、专利权的转移
2017-12-05

专利权的转移 IPC(主分类):G01N 13/16 登记生效日:20171115 变更前: 变更后: 申请日:20061123

专利申请权、专利权的转移
2011-03-16

授权

授权
2011-03-16

授权

授权
2009-01-21

实质审查的生效

实质审查的生效
2009-01-21

实质审查的生效

实质审查的生效
2008-11-26

公开

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2008-11-26

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