公开/公告号CN101750900B
专利类型发明专利
公开/公告日2011-07-20
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华虹NEC电子有限公司;
申请/专利号CN200810044106.6
申请日2008-12-16
分类号G03F7/20(20060101);G03F7/00(20060101);H01L21/027(20060101);
代理机构31211 上海浦一知识产权代理有限公司;
代理人丁纪铁
地址 201206 上海市浦东新区川桥路1188号
入库时间 2022-08-23 09:07:37
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-02-05
专利权的转移 IPC(主分类):G03F 7/20 变更前: 变更后: 登记生效日:20140108 申请日:20081216
专利申请权、专利权的转移
2011-07-20
授权
授权
2010-08-18
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20081216
实质审查的生效
2010-06-23
公开
公开
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