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在基本无氧和氮的等离子体灰化处理中监测氧和/或氮物种的水平的方法

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摘要

用于在基本无氧和氮的等离子体灰化处理中监测氧和/或氮的水平的方法通常包括使用光发射监测所述等离子体。监测所存在的低水平的氧和/或氮物种对所述等离子体中通常富含的其它物种所产生的效应，并且使其与所述等离子体中存在的氧和氮的量关联。这种所谓”效应检测”方法监测由痕量氧和/或氮物种的存在所造成的与不同于氮和/或氧的物种特别相关的光谱干扰，并且用于以1ppm和大概1ppb的等级的灵敏度定量测定氧和/或氮的量。

著录项

公开/公告号CN101405660B

专利类型发明专利
公开/公告日2011-09-28

原文格式PDF
申请/专利权人艾克塞利斯科技公司;
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申请/专利号CN200780010216.4
发明设计人帕拉尼库玛朗·萨克希维尔;托马斯·巴克利;艾伦·贝克内尔;
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申请日2007-03-09
分类号G03F7/42(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人王旭
地址美国马萨诸塞州
入库时间 2022-08-23 09:07:46

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2013-11-20

专利权的转移 IPC(主分类):G03F 7/42 变更前: 变更后: 登记生效日:20131029 申请日:20070309

专利申请权、专利权的转移
2011-09-28

授权

授权
2009-06-03

实质审查的生效

实质审查的生效
2009-04-08

公开

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