公开/公告号JP6445584B2
专利类型
公开/公告日2018-12-26
原文格式PDF
申请/专利号JP20160558344
发明设计人 ミヒャエル ベネディクト;トーマス クレープス;ミヒャエル シェーファー;ヴォルフガング シュミット;アンドレアス ハインリック;アンドレアス クライン;アレクサンダー ブラント;マルティン ブライフス;
申请日2015-03-26
分类号H01L21/52;B22F1;H01B1/22;H01L21/60;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 12:17:30