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METHODS FOR IN-SITU GENERATION OF REACTIVE ETCH AND GROWTH SPECIE IN FILM FORMATION PROCESSES

机译:膜形成过程中原位生成反应性刻蚀和生长物种的方法

摘要

substrate in the reaction chamber for the process to metastable species for the formation and use a method and apparatus are disclosed . Metastable species during treatment of the substrate - situ deposition process may be used to etch the surface of the substrate in the ;
机译:本发明公开了在反应室中制备亚稳物种的方法以及使用的方法和装置。在处理衬底原位沉积过程中的亚稳物种可用于蚀刻衬底中的表面;

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