要解决的问题:提供一种用于接合线的金合金线,该接合线具有高的接合可靠性和压缩球的高的圆度并且在其下部几乎不损坏Al垫。
解决方案:金合金线总共包含2,000-20,000 ppm的Pt和Pd中的一种或两种,1-200 ppm的Ir,1-40 ppm的Sr,并且根据需要还包含1- 20ppm的Ca,以Sr,Ca,Eu,La和Y的总量不大于40ppm的方式,总计1-20ppm的Eu,La和Y中的至少一种。电线还根据需要包含由1-500ppm的Ag和Au以及不可避免的杂质组成的成分组成作为剩余成分。
版权:(C)2008,日本特许厅&INPIT
公开/公告号JP5071925B2
专利类型
公开/公告日2012-11-14
原文格式PDF
申请/专利权人 田中電子工業株式会社;
申请/专利号JP20060346047
申请日2006-12-22
分类号H01L21/60;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 16:56:17