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APPARATUS FOR CONCENTRATING SLURRY EFFLUENT, APPARATUS FOR REGULATING QUALITY OF SLURRY EFFLUENT INCLUDING ABRASIVE GRAINS, AND APPARATUS FOR CLEANSING CONCENTRATING MEMBRANE

机译：用于浓缩浆液的设备，用于调节浆液质量（包括磨粒）的设备以及用于清洁浓缩膜的设备

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摘要

An apparatus and method recycles the abrasive fluid or slurry effluent used in the polishing step in the manufacture of semiconductors. Agglomerations of abrasive grains built up in the slurry effluent are crushed using a mill, ultrasonic oscillation, or pressurized circulation. The slurry effluent is then regenerated and reused.

机译：一种设备和方法再循环在半导体制造中的抛光步骤中使用的磨料流体或浆液流出物。使用研磨机，超声振荡或加压循环将淤浆流出物中积聚的磨料颗粒的团块粉碎。然后使浆液流出物再生并再利用。

著录项

公开/公告号KR20050089779A

专利类型
公开/公告日2005-09-08

原文格式PDF
申请/专利权人 FUJITSU LIMITED;
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申请/专利号KR20050076710
发明设计人 MATOBA TORU;OSUDA HIROSHI;FUKUIZUMI MASATAKA;
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申请日2005-08-22
分类号C02F11/12;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 22:04:36

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