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机译:利用氦氖激光在砷化镓表面制备微结构的胶粘剂浴
公开/公告号CS272415B1
专利类型
公开/公告日1991-01-15
原文格式PDF
申请/专利权人 SVORCIK VACLAV ING. CSC.CS;RYBKA VLADIMIR RNDR. CSC.CS;MYSLIK VLADIMIR DOC. ING. CSC.CS;
申请/专利号CS19880006255
发明设计人 RYBKA VLADIMIR RNDR. CSC.CS;MYSLIK VLADIMIR DOC. ING. CSC.CS;SVORCIK VACLAV ING. CSC.CS;
申请日1988-09-20
分类号H01L21/302;
国家 CS
入库时间 2022-08-22 05:59:27
机译: 利用氦氖激光在砷化镓表面制备微结构的胶粘剂浴
机译: N-砷化镓的微电子和光电子结构的成分表面刻蚀方法