公开/公告号US11067896B2
专利类型
公开/公告日2021-07-20
原文格式PDF
申请/专利号US201916716984
发明设计人 CODY JOHN MURRAY;EKMINI ANUJA DE SILVA;ALEX RICHARD HUBBARD;KAREN ELIZABETH PETRILLO;NELSON FELIX;
申请日2019-12-17
分类号G03F7/40;G03F7/38;H01L21/027;
国家 US
入库时间 2022-08-24 20:01:17