公开/公告号US10545409B1
专利类型
公开/公告日2020-01-28
原文格式PDF
申请/专利号US201916426805
发明设计人 CODY JOHN MURRAY;EKMINI ANUJA DE SILVA;ALEX RICHARD HUBBARD;KAREN ELIZABETH PETRILLO;NELSON FELIX;
申请日2019-05-30
分类号G03F7/40;G03F7/38;H01L21/027;
国家 US
入库时间 2022-08-21 11:26:29