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半导体设备的标准化管理

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半导体晶圆生产设备是电子工业设备中最精密要求最高的设备之一，高效率高质量的管理半导体设备是提高生产率保证半导体产品质量的最有效手段。从半导体厂建厂初期的设备安装、调试和试运行，到生产过程中的保养、维修以及更新，以及与其他生产部门的配合与联系，都需要一套标准化的作业流程来管理和指导，以使设备达到最佳运行状态来保障生产，提高生产效率。

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来源
《第八届中国标准化论坛》|2011年|564-567|共4页
会议地点昆明
作者
张俣;
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作者单位

中国标准化协会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 F426.63;F425.3;
关键词
半导体设备; 产品质量; 设备管理; 标准化工作;

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