六项半导体设备被评为2014年度的中国半导体设备创新产品

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2015年1月28日中国电子专用设备工业协会、中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子报在北京共同举办了“第九届（2014年度）中国半导体创新产品和技术评选”活动。申报的12项半导体设备经评选委员会13位专家按照评选条件进行了综合评价，6项半导体设备被评选为2014年度中国半导体创新产品。

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《电子工业专用设备》 |2015年第3期|10-21,31|共13页
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