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基于双频激光干涉原理的对径传感器校准系统研制

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研制了一种基于激光干涉原理的校准仪，该系统由双频激光干涉长度测量系统、工作台、双动气浮导轨系统、相向运动系统、控制系统及数据采集处理系统等组成，具有分辨率高、定位精度高、测力恒定、可溯源等特点，可实现测头同步相向运动和自动校准等功能。经实验验证，该校准仪重复性测量精度可达到0.027μm，可用于长度测量以及对径传感器的自动校准。

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来源
《中国兵工学会2011年光学与光电技术交流会》|2011年|81-83|共3页
会议地点成都
作者
姚媛; 邱丽荣; 郭皓蓉; 赵维谦;
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作者单位

中国兵工学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TH744.3;
关键词
校准仪; 双频激光干涉原理; 对径传感器;

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