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MEMS＼NEMS驱动器吸合特性的模型介绍

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通过考虑悬臂梁式和两端固定式两种MEMS＼NEMES驱动器，分别比较了四种广泛应用的吸合模型：单自由度模型、线性叠加模型、非线性梁模型和动态细长板模型.比较单自由度模型和动态细长板模型时误差较大，原因是低估了静电力;比较线性叠加模型、非线性梁模型和动态细长板模型时误差较小，原因是边界条件没有完全满足.

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来源
《北京力学会第17届学术年会》|2011年|125-126|共2页
会议地点北京
作者
王浩龙; 林文惠;
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作者单位

中国力学学会;

北京力学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP271.4;
关键词
机电系统; 驱动器; 吸合特性; 误差估计; 理论模型;

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