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薄膜结构红外辐射电阻阵列的研制

摘要

动态红外场景产生器是红外硬件闭环仿真系统的核心部件。提出了一种基于聚酰亚胺绝热层的2×16薄膜结构电阻阵列,并利用表面微机械加工技术完成了器件的制备。详细介绍了器件制备的工艺流程,重点研究了聚酰亚胺涂层胶的图形化工艺。最后,利用FLUKE T50型红外热像仪对器件的性能进行了测试,测试结果表明辐射单元表面的等效黑体辐射温度可以达到400K,能够满足中、长波红外硬件闭环仿真的需求。

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