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超精表面缺陷检测系统的实验研究

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电子产品高度集成化与高性能化发展,对超精表面及亚表面无损伤性要求越来越高.为实现纳米尺度分辨率、大视场表面损伤检测,利用原子力微悬臂探针设计了一种新型超精表面缺陷探测系统,采用柔性机构进行微悬臂探针俯仰与倾斜度微调,利用压电双晶片实现接触、非接触以及轻敲3种不同探测模式.系统特性实验表明:该探测系统位移分辨率可达2nm,共振频率90Hz,满足超精表面缺陷检测系统性能要求。

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来源
《第五届全国精密工程学术研讨会》|2005年|65-68|共4页
会议地点深圳
作者
李玉和; 李庆祥; 王东生; 葛杨翔; 廖小华;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类无损探伤;集成光学器件;
关键词
微悬臂探头; 柔性铰链; 压电双晶片; 激光干涉; 表面损伤检测;

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