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分析外接电路对微梁谐振器共振特性的影响

摘要

本文对受磁力驱动的机械微梁谐振器进行了振动分析,得到了输出电压与输入电流之间的关系.据此关系,给出了该机械微梁谐振器的等效电路表示.分析了外接电路对其共振特性的影响,分析结果表明,微梁谐振器的共振频率和品质因子可以由外接电路的阻抗控制.

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