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基于SU-8胶的微针执行器的研制

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利用MEMS技术设计和制作了一种微量取样执行器.执行器由微针、微通道、反应室、电极以及永磁微阵列等各部分组成,通过外部磁场可以实现双向线性地驱动.利用SU-8光刻胶为主要材料,采用多级曝光和电铸金属实现3D结构的工艺技术,研制出了微针执行器的雏形器件.针尖的尺寸为500μm×60μm×60μm,针孔截面为20μm×20μm.

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来源
《中国仪器仪表学会第六届青年学术会议》|2004年|104-106|共3页
会议地点重庆
作者
秦宁; 赵湛; 张博军; 陈绍凤; 夏善红;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类制造工艺;
关键词
微针执行器; MEMS; 生化微系统; 微针工艺;

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