集成电路硅单晶用石英坩埚的现状和改进建议

著录项

• 来源
  《全国第二届高新技术用石英制品及相关材料技术与市场研讨会》|2004年|35-39|共5页
• 会议地点 江苏无锡
• 作者

  姜益群; 宁波立立电子股份有限公司; 何永增; 宁波立立电子股份有限公司; 陈岳来; 宁波立立电子股份有限公司; 刘培东; 宁波立立电子股份有限公司;

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• 作者单位

  中国电子材料行业协会;

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• 会议组织
• 正文语种
• 原文格式 PDF
• 中图分类 TN304.05;
• 关键词

  石英坩埚; 集成电路; 硅单晶;