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MEMS隧道加速度计

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设计了一种隧道加速度计,对器件结构进行了数值仿真分析;在此基础上对器件进行了工艺研究,做出了较为理想的结果;隧尖尺寸为0.02μm×0.02μm,测出隧道电流为1.14~4.68nA.

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来源
《第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会》|2003年|461-464|共4页
会议地点北京
作者
贾玉斌; 董海峰; 郝一龙;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类结构;
关键词
微机电系统; 隧道电流; 加速度计;

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