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半绝缘砷化镓中缺陷深能级的热激电流测量

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本文介绍了热激电流的测量装置和测量技术.测量了半绝缘砷化镓中缺陷深能级的热激电流镨,并依此计算了深能级的位置.研究了半绝缘砷化镓的化学配比与热激电流镨的关系.

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来源
《第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议》|2002年|124-126|共3页
会议地点厦门
作者
李成基; 李韫言; 何宏家;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.23;TN304.07;
关键词
砷化镓; 热激电流; 缺陷深能级; 半导体材料; 测量技术;

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