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贺德衍; 程文娟; 贾海军; 谢二庆; 陈学康; 吴敢;
中国金属学会;
非晶硅薄膜; 激光晶化; 图形直写; 周期性; 硅晶粒结构;
机译:准分子激光溅射非晶硅膜的准分子激光结晶工艺,温度为100℃,制备了大型多晶硅晶粒
机译:多脉冲受激准分子激光退火对多晶硅晶粒的扩大:氢的作用
机译:准分子激光应变的单晶粒硅n沟道和p沟道薄膜晶体管
机译:通过准分子激光脉冲通过相位掩模光栅制备LiTaO3周期性表面结构
机译:通过脉冲激光沉积制备半金属磁性氧化物薄膜的材料物理学:控制锶铁钼氧化物和铬氧化物薄膜的晶体结构和近表面性质。
机译:用KrF准分子激光辐照在掺杂的聚甲基丙烯酸甲酯薄膜上制备周期性表面结构
机译:通过脉冲准分子激光沉积制备的a-C:N薄膜的结构和性质
机译:通过脉冲准分子激光蒸发生产薄膜的方法(通过脉冲准分子激光蒸发制备薄膜的工艺)
机译:用于例如漂移区的电容结构的制造方法。 n沟道MOSFET涉及从沟槽表面分离单个硅晶粒,并在分离的硅晶粒之间的硅晶粒上产生介电层
机译:具有随机晶粒结构的多晶硅膜的积累方式,形成钨/硅的方式和形成钨/硅的方式无效,该多晶硅栅电极具有掺杂有复合材料膜的无规晶粒结构。
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