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RTCVD多晶硅薄膜太阳能电池的陶瓷衬底材料

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本文采用陶瓷作为太阳能电池的衬底材料,通过陶瓷烧结工艺来制备SiC衬底,利用杂质阻档层来实现在异质底材上生长多晶硅薄膜的有源层.

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来源
《中国太阳能学会2001年学术会议》|2001年|135|共1页
会议地点青岛
作者
李海峰; 黄勇; 许颖; 于元;
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作者单位

中国太阳能学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.055;TM914.4:TM910.5;
关键词
多晶硅薄膜; 太阳能电池; 陶瓷衬底; 化学气相沉积;

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