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微机械金刚石薄膜谐振器

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该文提出一种金刚石表面微加工技术，用掺杂的金刚石膜作结构层，多晶硅薄膜作牺牲层，用氧离子束刻蚀金刚石薄膜和氢氧化钾腐蚀多晶硅，制成了梁式和叉子式金刚石薄膜谐振器。文中讨论了工艺上的问题和得到的初步结果。

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来源
《第六届全国敏感元件与传感器学术会议》|1999年|101-103|共3页
会议地点北京
作者
杨艺榕; 王效东; 解健芳; 任宗欣;
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作者单位

中国电子学会;

中国仪器仪表学会;

中国航空学会;

中国生物医学工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类振荡技术、振荡器;
关键词
金刚石薄膜谐振器; 金刚石薄膜; 表面加工; 微机械;

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