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张寿柏; 丁桂甫; 沈天慧;
中国有色金属学会;
微机电系统; 材料; 半导体; 加工;
机译:重新评估微机电系统(MEMS)中的材料问题
机译:多孔硅作为低频MEMS(微机电系统)谐振器中的软材料
机译:铁电材料在微机电系统(MEMS)中的应用
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机译:平面微流控:在微机电系统(MEMS)中实现通道,泵,阀和流体混合器的大规模集成。
机译:基于微机电系统(MEMS)的生物医学应用微流控设备
机译:用于微/纳米机电系统的金属微触点的准电气接触行为(MEMS / NEM)
机译:使用微拉曼光谱表征GaN-on-sapphire微机电系统(mEms)结构中的应力
机译:电化学传感器和微机电系统(MEMS),用于生物流体中临床上重要的生物标志物的实时护理点测试(POCT)
机译:微机电系统(MEMS)的电化学阻抗谱分析仪(“EISA”)芯片(MEMS)
机译:用于将MEMS(微机电系统)超声转换的装置,一种PMUT(压电微机械超声换能器)装置以及一种将有源转换器与多个钝化层相结合的有源矩阵转换器(一种方法)和一种用于解决问题的方法系统)超声波
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