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Ge组分对SiGe合金退火行为的影响

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采用快速热退火对外延SiGe/Si合金样品进行热处理。用双晶X-ray衍射，Raman，RBS分析样品的应变及组分变化。结果表明大组分（＞0.3）合金在退火时有明显的互扩散发生，组分越大，互扩散越明显。

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来源
《全国化合物半导体、微波器件和光电器件学术会议》|1998年|138-139|共2页
会议地点宜昌
作者
刘金平; 李建平;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类材料;
关键词
Ge; SiGe合金; 退火行为;

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