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AlGaN异质结光电晶体管日盲探测器的制备与特性研究

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由于臭氧层的吸收,太阳光中240～280nm波段在近地面区域十分微弱,被称为日盲区.因此日盲探测避开了强大的太阳辐射背景,降低了信号处理难度,可对极微弱的人造日盲紫外信号进行探测.随着人们对日盲紫外探测技术的不断研究,日盲探测应用越来越广泛,包括火情探测、导弹逼近紫外告警等.本文采用In辅助Mg-delta掺杂法实现具有高空穴浓度p型AlxGa1-xN(x-0.4)，采用二次生长抑制Al0.4Ga0.6N基区p型掺杂Mg记忆效应的作用，进而首次成功制备了AlGaN基HPT日盲探测器。直径150μm的器件在低工作电压下表现出极低的暗电流与高增益，工作电压为6V时增益高达7428。器件响应带宽为235-293nm，日盲/可见光拒绝比达3个数量级。

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来源
《第一届全国宽禁带半导体学术及应用技术会议》|2015年|72-73|共2页
会议地点苏州
作者
张灵霞; 唐韶吉; 刘长山; 江灏;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类紫外技术及仪器;
关键词
日盲紫外探测器; 氮化铝镓异质结光电晶体管; 制备工艺; 物理性能;

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