首页> 中文会议>第一届全国宽禁带半导体学术及应用技术会议 >用于背照式紫外焦平面阵列的蓝宝石微透镜的设计和制备

用于背照式紫外焦平面阵列的蓝宝石微透镜的设计和制备

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

在CMOS图像传感器中,折射式微透镜起到提高光子收集效率的作用.对于红外探测器,折射式微透镜的汇聚作用能够使光敏元的面积进一步缩小,小面积光敏元具有更小的暗电流、电容,更高的阻抗,从而使探测器具有更高的信噪比和更快的响应速度.通过在背照式紫外焦平面探测器上单片集成宝石片微透镜阵列的方式,可使紫外探测器获得更小的光敏元面积和结电容,这将有助于降低紫外探测器的暗电流和读出电路的前置放大器热噪声.因此,本文的目的是通过设计和制备用于紫外焦平面探测器的宝石片微透镜阵列,使光敏元面积及光敏元电容成为可以调整的设计参数,为减小读出电路噪声和提高紫外探测器性能开辟新的途径.

著录项

来源
《第一届全国宽禁带半导体学术及应用技术会议》|2015年|74-75|共2页
会议地点苏州
作者
刘向阳; 汤亦聃; 李向阳;
展开▼
作者单位

中国电子学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类紫外技术及仪器;
关键词
紫外焦平面探测器; 宝石片微透镜阵列; 参数设计; 光敏元面积; 光敏元电容;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 用于改善PtSi红外焦平面阵列器件响应特性的长焦距GaAs微透镜阵列器件的制作研究 [J] . 何苗 ,易新建 ,程祖海 . 红外与毫米波学报 . 2001,第005期
2. 紫外衍射微透镜阵列的设计与制备 [J] . 张伟 ,李毅 ,张虎 . 上海理工大学学报 . 2011,第002期
3. 背照式GaN/AlGaN p-i-n紫外探测器的制备与性能 [J] . 陈亮 ,游达 ,汤英文 . 激光与红外 . 2006,第011期
4. 256×256 Si微透镜阵列与红外焦平面阵列单片集成研究 [J] . 陈四海 ,易新建 ,王宏臣 . 红外与毫米波学报 . 2001,第005期
5. 硅微透镜阵列与红外焦平面阵列的单片集成 [J] . 陈四海 ,孔令斌 ,何苗 . 华中科技大学学报：自然科学版 . 2001,第5期
6. 背照式GaN/AlGaN p-i-n紫外探测器的制备与性能 [C] . 陈亮 ,游达 ,汤英文 . 第二届全国先进焦平面技术研讨会 . 2006
7. 衍射微透镜阵列与红外焦平面阵列单片集成研究 [A] . 李毅 . 2001

用于背照式紫外焦平面阵列的蓝宝石微透镜的设计和制备

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅