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Ba源配比对MOCVD法制备YBCO薄膜性能的影响研究

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金属有机物化学气相沉积(MOCVD)法制备氧化物薄膜具有沉积速率快,外延薄膜均匀性好等优点.本文采用单一液相混合源进液及闪蒸的MOCVD系统在LaAl03(001)单晶基片上制备YBa2Cu3O7-x(YBCO)薄膜,研究混合源中Ba含量对YBCO超导薄膜成分、结构及电流承载能力的影响.结果表明,当Ba含量较小时,YBCO薄膜中易于形成尺寸较小的CuO颗粒;随着Ba含量的增加,薄膜中形成Ba2CuO3晶粒,并且Ba2CuO3晶粒尺寸随Ba含量的增加而逐渐增大.杂质相的含量、尺寸以及与YBCO的晶格匹配程度对YBCO薄膜的双轴取向生长和电流承载能力具有重要影响.当原料摩尔配比Ba/Y=3.9时,成功制备出了具有优异面内面外取向、结构致密的YBCO超导薄膜,77K下的300nm厚度薄膜的临界电流密度达到4.0MA/cm2,该研究结果对于第二代超导带材的发展具有重要意义.

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来源
《2013年全国博士生学术论坛——电子薄膜与集成器件》|2013年|273-277|共5页
会议地点成都
作者
ZHAO Rui-Peng; 赵睿鹏; XIONG Jie; 熊杰; LIU Xin; 刘鑫; ZHANG Fei; 张飞; ZHAO Xiao-Hui; 赵晓辉; TAO Bo-Wan; 陶伯万;
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作者单位

教育部;

国务院学位委员办公室;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.21:TN304.055;
关键词
氧化物薄膜; 化学气相沉积法; 钡源含量; 性能评价;

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