Ba源配比对MOCVD法制备YBCO薄膜性能的影响研究

刘鑫; 熊杰; 张飞; 赵晓辉; 赵睿鹏; 陶伯万

首页> 中文期刊> 《无机材料学报》 >Ba源配比对MOCVD法制备YBCO薄膜性能的影响研究

Ba源配比对MOCVD法制备YBCO薄膜性能的影响研究

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

采用单一液相混合源进液及闪蒸的MOCVD系统在LaA1O3(001)单晶基片上制备YBa2Cu3O7-x(YBCO)薄膜,研究混合源中Ba含量对YBCO超导薄膜成分、结构及电流承载能力的影响.结果表明,当Ba含量较小时,YBCO薄膜中易于形成尺寸较小的CuO颗粒;随着Ba含量的增加,薄膜中形成Ba2CuO3晶粒,并且Ba2CuO3晶粒尺寸随Ba含量的增加而逐渐增大.杂质相的含量、尺寸以及与YBCO的晶格匹配程度对YBCO薄膜的双轴取向生长和电流承载能力具有重要影响.当原料摩尔配比Ba/Y=3.9时,成功制备出了具有优异面内面外取向、结构致密的YBCO超导薄膜,77 K下的300 nm厚度薄膜的临界电流密度达到4.0 MA/cm2,该研究结果对于第二代涂层导体的发展具有重要意义.

著录项

来源
《无机材料学报》 |2014年第3期|275-278|共4页
作者
刘鑫; 熊杰; 张飞; 赵晓辉; 赵睿鹏; 陶伯万;
展开▼
作者单位

电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都610054;

电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都610054;

电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都610054;

电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都610054;

电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都610054;

电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都610054;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类元素有机化合物的生产;
关键词
MOCVD; YBCO; 高温超导; 临界电流密度;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 单源进液金属有机化学气相沉积法工作气压对YBCO薄膜制备的影响研究 [J] . 敬通国 ,高磊 ,徐亚新 . 低温与超导 . 2012,第004期
2. MOCVD法在含YSZ过渡层的Ni合金上制备YBCO薄膜 [J] . 周锷猷 ,龚尚敏 ,袁美萍 . 低温物理学报 . 1997,第4期
3. 单源溶液超声波雾化MOCVD法在Ag基体上制备YBCO膜 [J] . 袁凤池 ,谢义元 ,程彬吉 . 低温物理学报 . 1995,第6期
4. MOD法YBCO超导薄膜制备中BaCeO_3的形成 [J] . 吕昭 ,刘敏 ,叶帅 . 人工晶体学报 . 2010,第6期
5. YBa2Cu3O7-δ薄膜制备工艺对体系结构和性能的影响研究 [J] . 薛人中 ,陈镇平 ,薛运才 . 低温与超导 . 2009,第006期
6. Ba源配比对MOCVD法制备YBCO薄膜性能的影响研究 [C] . ZHAO Rui-Peng ,赵睿鹏 ,XIONG Jie . 2013年全国博士生学术论坛——电子薄膜与集成器件 . 2013
7. YBCO高温超导薄膜的MOCVD法制备及磁通钉扎的研究 [A] . 刘鑫 . 2014

Ba源配比对MOCVD法制备YBCO薄膜性能的影响研究

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅