衬底温度对ZnO∶Mn薄膜结构及光电性质的影响

著录项

• 来源
  《2011中国功能材料科技与产业高层论坛》|2011年|431-435|共5页
• 会议地点 重庆
• 作者

  杨天勇; Tianyong YANG; Chunyang KONG; 孔春阳; Haibo RUAN; 阮海波; Guoping QIN; 秦国平; Guijuan HUANG; 黄桂娟; Wanjun LI; 李万俊; Weiwei LIANG; 梁薇薇; Xiangdan MENG; 孟详丹; 赵永红; Yonghong ZHAO; Liang FANG; 方亮;

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• 作者单位

  中国仪器仪表学会仪表功能材料学会;

  重庆市科协;

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• 会议组织
• 正文语种
• 原文格式 PDF
• 中图分类 TN304.21:TN304.055;
• 关键词

  半导体薄膜; 射频磁控溅射法; 衬底温度; 光电性能; 结晶质量; 表面形貌;