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Multifunctional Sensors-Chip Based on Micromachined Chamber array

机译:基于微机械腔室阵列的多功能传感器芯片

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摘要

This paper reports fabrication and characterization of a sensors-chip on which glucose sensor, glutamate sensor, galactose sensor and potassium ion selective electrode (K~+ISE) were integrated. The sensors-chip consists of 2x2 micromachined chamber. It provides to the possibility of production of four-functional sensors in a chip while improves reproducibility and stability of microsensors.
机译:本文报道了集成了葡萄糖传感器,谷氨酸传感器,半乳糖传感器和钾离子选择电极(K〜+ ISE)的传感器芯片的制造和表征。传感器芯片由2x2微机械加工室组成。它提供了在芯片中生产四功能传感器的可能性,同时提高了微传感器的可重复性和稳定性。

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