Tokyo Electron Europe Ltd., Moritzburger Weg 67 / Haus D, 01109 Dresden, Germany;
Tokyo Electron Europe Ltd., Moritzburger Weg 67 / Haus D, 01109 Dresden, Germany;
Qimonda Dresden GmbH Co. KG, D-01099 Dresden, Germany;
Qimonda Dresden GmbH Co. KG, D-010;
immersion; 45nm; CDU; wafer warpage;
机译:扇形晶圆级包装翘曲的模拟和实验研究:制造工艺和优化设计的影响
机译:使用有限元方法的晶片级翘曲的代表性容量元素分析(Vol 91,PG 392,2019)
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