A temperature control system used for improving resonant frequency drift of MEMS gyroscopes

机译：用于改善MEMS陀螺仪共振频率漂移的温度控制系统

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This paper introduces a temperature control system which uses incremental PID algorithm to improve the resonant frequency stability of a MEMS gyroscope. The frequency drift for the drive mode of the gyroscope is 0.3Hz/°C, while after adopting the temperature control system, the frequency is nearly stable and the standard deviation of the output is about 0.027. The experimental results has proved this method's effectiveness and feasibility.

机译：本文介绍了一种温度控制系统，该系统使用增量PID算法来提高MEMS陀螺仪的谐振频率稳定性。陀螺仪驱动方式的频率漂移为0.3Hz /°C，采用温度控制系统后，频率几乎稳定，输出的标准偏差约为0.027。实验结果证明了该方法的有效性和可行性。

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来源
《IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems》|2015年|397-400|共4页
会议地点
作者
Rui Guan; Chunhua He; Dachuan Liu; Qiancheng Zhao; Zhenchuan Yang; Guizhen Yan;
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会议组织
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正文语种
中图分类
关键词
MEMS gyroscope; frequency drift; temperature control;

机译：MEMS陀螺仪;频率漂移;温度控制;

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