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首页> 外文会议>International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems >Tactile display MEMS device with SU8 micro-pin and spring on SMA film actuator array
【24h】

Tactile display MEMS device with SU8 micro-pin and spring on SMA film actuator array

机译：SMA薄膜执行器阵列上具有SU8微引脚和弹簧的触觉显示MEMS器件

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We propose a 5x5 arrayed MEMS planar tactile display device (1 mm pitch) consists of SMA thick film actuator array and photo-lithographed SU8 micromechanism of bias spring, micro-pin, and cap array. The SU8 bias spring was designed so that the tactile display can generate 20 μm displacement and 5 mN force when it is combined with the SMA actuator in static motion. The amplitude of the tactile display decreased with increasing driving frequency when it was driven by pulse voltage with 50 % duty ratio. However, the device was able to generate amplitude larger than 10 μm, sufficient for vibratory stimulation to human skin, at 30 Hz with low duty ratio.
机译：我们提出了一种5x5阵列的MEMS平面触觉显示设备（间距为1 mm），由SMA厚膜致动器阵列和偏心弹簧，微引脚和盖阵列的光刻SU8微机构组成。 SU8偏置弹簧经过精心设计，当与SMA致动器以静态运动组合时，其触觉显示器可产生20μm的位移和5 mN的力。当用占空比为50％的脉冲电压驱动时，触觉显示器的幅度随驱动频率的增加而减小。但是，该设备能够以低占空比在30 Hz时产生大于10μm的振幅，足以对人体皮肤进行振动刺激。

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