首页> 外文会议> >光ピンセットによる捕捉微粒子を用いたアルゴンプラズマの等電場面計測
【24h】

光ピンセットによる捕捉微粒子を用いたアルゴンプラズマの等電場面計測

机译:使用捕获的细颗粒通过光学镊子使用捕获的细粒子的等电场表面测量

获取原文

摘要

多様なナノ構造形成や半導体デバイスの 3 次元集積化に伴い, プラズマプロセスの深い理解に基づいた超高精度ナノプロセスの創成が求められている[1].このためには,プラズマプロセス揺らぎの原因解明と制御が重要である.本稿では, 光ピンセット法[2]によりプラズマ中微粒子を捕捉・移動し, その微粒子挙動によりプラズマの等電場面を推定した結果を報告する.
机译:利用各种纳米结构形成和半导体器件的三维集成,需要基于对等离子体过程的深度理解的超高精度纳米处理进行[1]。为此目的,等离子体过程波动原因的原因和控制很重要。在本文中,光镊子方法[2]捕获并在等离子体中移动细颗粒,并通过颗粒行为报告估计血浆的等离子体的结果。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号