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Stability of Charge-Controlled Electrostatic Actuators: A general theorem and a novel charge Pull-In extraction numerical scheme

机译：电荷控制静电执行器的稳定性：通用定理和新型电荷拉伸数值方案

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This work deals with the stability of charge-controlled electrostatic actuators. First, a general proof is presented showing that for any electrostatic actuator, the stability range under charge-control is always larger than the stability range under voltage-control. Second, a novel numerical scheme for analyzing the stability and extracting the charge Pull-In parameters of charge-controlled actuators is proposed. Third, a strategy for further extending the travel-range of charge-controlled actuators is suggested.
机译：这项工作涉及电荷控制的静电执行器的稳定性。首先，提出了一般证据，示出了对于任何静电致动器，电荷控制下的稳定范围总是大于电压控制下的稳定范围。其次，提出了一种用于分析稳定性和提取电荷控制致动器的电荷拉伸参数的新型数值方案。第三，提出了一种进一步延长电荷控制执行器的策略。

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