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A confocal micro-imaging system incorporating a thermally actuatedtwo axis MEMS scanner

机译：包含热驱动的微轴MEMS扫描仪的共聚焦微成像系统

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For in-vivo imaging applications the use of conventional confocal microscope systems are simply not practical due totheir relatively large size and weight. There is, however, great interest from both the life science research community andthe clinical profession for the development of compact and portable micro-optical instrumentation capable of achievingminimally invasive, in–vivo imaging of tissue with sub-cellular resolution. In this paper we describe a novel confocalmicro-imaging system incorporating, at its core, a thermally driven, non-resonant two-axis MEMS scanner which servesas a substitute for the two single-axis galvanometer scanners commonly used in standard confocal imaging systems. Inthis paper we describe the non-linearity of such devices and a number of techniques to compensate for this.
机译：对于体内成像应用，使用常规的共聚焦显微镜系统根本不实际到期，因此尺寸相对大的尺寸和重量。然而，从生命科学研究界和临床专业的临床专业都有很大的兴趣，可以实现能够实现多种侵入性的微型和便携式微光学仪器的临床专业，具有亚细胞分辨率的组织的体内成像。在本文中，我们描述了一种新的共焦型成像系统，其在其核心，热驱动的非谐振双轴MEMS扫描仪中，该系统在标准共聚焦成像系统中替代通常使用的两个单轴电流计扫描仪。 Inthis纸张我们描述了这种装置的非线性和许多可以补偿此技术的技术。

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