• 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 外文会议>MEMS, MOEMS, and Micromachining II >A 2D MEMS Stage for Optical Applications
【24h】

A 2D MEMS Stage for Optical Applications

机译：光学应用的2D MEMS平台

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

A 2D MEMS platform for a microlens scanner application is reported. The platform is fabricated on an SOI wafer with 50 μm thick device layer. Entire device is defined with a single etching step on the same layer. Through four S-shaped beams, the device is capable of producing nonlinear 2D motion from linear 1D translation of two pairs of comb actuator sets. The device has a clear aperture of 2mm by 2mm, which is hallowed from the backside for micro-optics assembly. In this paper, a numerical device model and its validation via experimental characterization results are presented. Integration of the micro-optical components with the stage is also discussed. Additionally, a new driving scheme to minimize the settling time of the device in DC operation is explored.
机译：报告了用于微透镜扫描仪应用的2D MEMS平台。该平台是在具有50μm厚器件层的SOI晶圆上制造的。通过在同一层上的单个蚀刻步骤定义整个设备。通过四个S形梁，该设备能够从两对梳齿致动器组的线性一维平移产生非线性2D运动。该器件具有2mm x 2mm的透明孔径，该孔径从背面倾斜，用于微光学组件的组装。本文提出了一种数值设备模型，并通过实验表征结果对其进行了验证。还讨论了微光学元件与平台的集成。此外，还探索了一种新的驱动方案，以最大程度地减少DC操作中设备的建立时间。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号