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带侧面电极的2D静电驱动MEMS扭转微镜二阶积分滑模控制

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本发明公开了侧面电极的2D静电驱动MEMS扭转微镜二阶积分滑模控制，针对带侧面电极2D静电驱动MEMS扭转微镜设计了基于积分滑模面的二阶滑模控制算法，提高MEMS微镜的暂态性能和扫描定位精度，实现精确跟踪参考正弦轨迹的扫描控制。二阶滑模控制能够保证系统鲁棒性的同时减少滑模控制的抖振现象，即使存在外界扰动，闭环系统依然具有良好的暂态性能、定位精度和跟踪性能。

著录项

公开/公告号CN111381500A

专利类型发明专利
公开/公告日2020-07-07

原文格式PDF
申请/专利权人东莞理工学院;
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申请/专利号CN202010216889.2
发明设计人秦毅;王福杰;郭芳;李裕荣;姚智伟;
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申请日2020-03-25
分类号
代理机构北京翔石知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人李勇
地址 523808 广东省东莞市松山湖科技产业园区大学路1号
入库时间 2023-12-17 09:51:04

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-07-31

实质审查的生效 IPC(主分类):G05B13/04 申请日:20200325

实质审查的生效
2020-07-07

公开

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