一种新型静电驱动的单轴扭转微镜

王丛舜; 熊春阳; 杨振川; 张大成; 方竞

首页> 中文期刊> 《微纳电子技术》 >一种新型静电驱动的单轴扭转微镜

一种新型静电驱动的单轴扭转微镜

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

基于MEMS技术的微镜在投影显示、光学扫描和光通信等领域中都具有重要的应用价值。本文提出了一种新型的静电驱动的单轴扭转微镜 ,这种MEMS微镜采用标准体硅工艺和绝缘连接工艺制成。由于驱动力作用线和扭转中心之间存在一定的距离 ,使得微镜在梳齿驱动器的横向静电力驱动下 ,发生一定角度的扭转。测试中发现了微镜初步设计中的薄弱环节。

著录项

来源
《微纳电子技术》 |2003年第7期|419-421|共3页
作者
王丛舜; 熊春阳; 杨振川; 张大成; 方竞;
展开▼
作者单位

北京大学力学与工程科学系;

北京大学微电子所;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TH741.5;
关键词
静电驱动; 单轴扭转微镜; 梳齿驱动器; 体硅工艺; MEMS技术;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 一种新型3D微镜结构的静电驱动电压特性分析 [J] . 王宝东 ,万江文 ,冯仁剑 . 微纳电子技术 . 2005,第6期
2. 静电驱动MEMS扭转微镜系统的分岔与吸合 [J] . 叶坤涛 ,罗艳 . 江西理工大学学报 . 2017,第003期
3. 基于复合静电驱动结构的硅微机械扭转微镜 [J] . 栗大超 ,吴文刚 ,袁勇 . 传感技术学报 . 2006,第05A期
4. 基于复合静电驱动结构的硅微机械扭转微镜 [J] . 栗大超 ,吴文刚 ,袁勇 . 传感技术学报 . 2006,第005期
5. 一种新型静电斥力微驱动器的设计与仿真 [J] . 于洋 ,赵清华 ,李刚 . 仪表技术与传感器 . 2016,第006期
6. 一种新型静电驱动的单轴扭转微镜 [C] . 王丛舜 ,熊春阳 ,杨振川 . 中国微米/纳米第六届学术年会 . 2003
7. 一种新型静电驱动增加检测电容的微惯性传感器研究 [A] . 霍卫红 . 2011

一种新型静电驱动的单轴扭转微镜

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅