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带侧面电极的2D静电驱动MEMS扭转微镜一阶滑模和Twisting控制

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摘要

本发明公开了一种带侧面电极的2D静电驱动MEMS扭转微镜一阶滑模和Twisting控制，通过定MEMS扭转微镜的转动角度误差，从而确定MEMS扭转微镜的转动角度误差e＝θ‑θ

1. 带侧面电极的2D静电驱动MEMS扭转微镜一阶滑模和Twisting控制 [P] . 中国专利： CN111487865A . 2020-08-04
2. 带侧面电极的2D静电驱动MEMS扭转微镜二阶积分滑模控制 [P] . 中国专利： CN111381500A . 2020-07-07
3. ELECTROSTATICALLY DRIVEN MEMS DEVICE, IN PARTICULAR ROTATABLE MICROMIRROR [P] . 欧洲知识产权局专利： EP2902358B1 . 2018-09-26

机译：静电驱动的MEMS设备，特别是可旋转的微镜
4. ELECTROSTATICALLY DRIVEN MEMS DEVICE, IN PARTICULAR ROTATABLE MICROMIRROR [P] . 欧洲知识产权局专利： EP2902358A1 . 2015-08-05

机译：静电驱动的MEMS设备，特别是可旋转的微镜
5. The electrostatic drive die micro mirror device null micro mirror which [P] . 日本专利： JP4446038B2 . 2010-04-07

机译：静电驱动模具微镜装置无效的微镜