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首页> 外文会议>Microelectronics Technology and Devices-SBMicro 2008 >Time-of-flight Flow Sensor Microstructure using Free-standing Polysilicon Filaments
【24h】

Time-of-flight Flow Sensor Microstructure using Free-standing Polysilicon Filaments

机译：使用独立式多晶硅纤维丝的飞行时间流量传感器微结构

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In this work we present a time-of-flight flow microsensor implemented using surface micromachining in combination with sacrificial layer technology. This approach allows obtaining freestanding polysilicon microfilaments that can be used as heaters or temperature sensors. The obtained microstructure can find applications in many important areas as process and environmental control, biomedicine andrninstrumentation. Numerical simulation showed a compromise between the size of the device (distance heater to sensor) and the range of volumetric flow to be detected. Also, the proposed structure is suitable for the detection of low volumetric flows and presents a response time of the order of milliseconds. Experimental results demonstrate that the heater can be operated at a temperature of the order of 100℃ with a power dissipation of ～ 30 mW. Also, tests with the implemented flow sensor structure and characterization apparatus revealed a good agreement with respect to the numerical simulation, confirming the predicted behavior.
机译：在这项工作中，我们提出了一个飞行时间流量微传感器，该传感器使用表面微加工结合牺牲层技术实现。这种方法允许获得可以用作加热器或温度传感器的独立式多晶硅微丝。所获得的微结构可以在许多重要领域中找到应用，例如过程和环境控制，生物医学和仪器仪表。数值模拟显示了设备尺寸（加热器到传感器的距离）和要检测的体积流量范围之间的折衷。而且，所提出的结构适合于低体积流量的检测，并且呈现出毫秒量级的响应时间。实验结果表明，该加热器可以在100℃左右的温度下运行，功耗为〜30 mW。此外，使用已实现的流量传感器结构和表征设备进行的测试显示出与数值模拟的良好一致性，从而确认了预测的行为。

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