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首页> 美国卫生研究院文献>Sensors (Basel Switzerland) >A MEMS-based Air Flow Sensor with a Free-standing Micro-cantilever Structure
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A MEMS-based Air Flow Sensor with a Free-standing Micro-cantilever Structure

机译：具有独立微悬臂结构的基于MEMS的气流传感器

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This paper presents a micro-scale air flow sensor based on a free-standing cantilever structure. In the fabrication process, MEMS techniques are used to deposit a silicon nitride layer on a silicon wafer. A platinum layer is deposited on the silicon nitride layer to form a piezoresistor, and the resulting structure is then etched to create a freestanding micro-cantilever. When an air flow passes over the surface of the cantilever beam, the beam deflects in the downward direction, resulting in a small variation in the resistance of the piezoelectric layer. The air flow velocity is determined by measuring the change in resistance using an external LCR meter. The experimental results indicate that the flow sensor has a high sensitivity (0.0284 Ω/ms-1), a high velocity measurement limit (45 ms-1) and a rapid response time (0.53 s).
机译：本文提出了一种基于独立悬臂结构的微型空气流量传感器。在制造过程中，MEMS技术用于在硅晶片上沉积氮化硅层。铂层沉积在氮化硅层上以形成压敏电阻，然后蚀刻所得结构以形成独立的微悬臂梁。当气流通过悬臂梁的表面时，该梁会向下偏转，从而导致压电层电阻的微小变化。空气流速是通过使用外部LCR表测量电阻变化来确定的。实验结果表明，该流量传感器灵敏度高（0.0284Ω/ ms -1 ），速度测量极限高（45 ms -1 ），响应速度快。时间（0.53 s）。

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