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【24h】

Benchmarking of software tools for optical proximity correction

机译：光学接近度校正软件工具的基准测试

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Abstract: The point when optical proximity correction (OPC) will become a routine procedure for every design is not far away. For such a daily use the requirements for an OPC tool go far beyond the principal functionality of OPC that was proven by a number of approaches and is documented well in literature. In this paper we first discuss the requirements for a productive OPC tool. Against these requirements a benchmarking was performed with three different OPC tools available on market (OPRX from TVT, OPTISSIMO from aiss and PROTEUS from TMA). Each of these tools uses a different approach to perform the correction (rules, simulation or model). To assess the accuracy of the correction, a test chip was fabricated, which contains corrections done by each software tool. The advantages and weakness of the several solutions are discussed. !7
机译：摘要：光学邻近校正（OPC）成为每种设计的常规程序的时机并不遥远。对于这样的日常使用，对OPC工具的要求远远超出了OPC的主要功能，该功能已通过多种方法证明并在文献中得到了很好的记录。在本文中，我们首先讨论生产OPC工具的要求。针对这些要求，使用市场上提供的三种不同的OPC工具（TVT的OPRX，aiss的OPTISSIMO和TMA的PROTEUS）进行了基准测试。这些工具中的每一个都使用不同的方法来执行校正（规则，仿真或模型）。为了评估校正的准确性，制造了一个测试芯片，其中包含每个软件工具所做的校正。讨论了几种解决方案的优缺点。 ！7

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